淺層氣浮設備選購技巧

　　氣浮墊(平面空氣靜壓軸承、止推空氣軸承)廣泛應用于高精度設備中，比如集成電路生產設備、平面顯示器生產設備、半導體生產設備、電子生產設備、太陽能電池生產設備、新型元器件生產設備、檢驗和測量設備以及高精度機床等。氣浮墊是靜壓氣浮導軌的重要組成部件，在工作過程中起承載和導向之作用，它決定了氣浮設備的精度和性能，因此在設計時氣浮墊的選擇是十分關鍵的。

　　1)承載能力。

　　足夠的承載能力可確保氣浮墊將系統“浮”起來，這是基本的要求。選擇時應注意比較不同廠商氣浮墊在同樣條件下(氣隙、供氣壓力)的承載能力;

　　2)剛度(static stiffness 和 tilt stiffness)。

　　足夠的剛度是保證氣浮系統在設計條件下穩定工作的必要條件。選擇時一般考慮靜剛度(static stiffness )，但有些情況下也必須考慮傾側剛度(tilt stiffness)，否則系統可能無法達到設計性能指標要求。

　　性能穩定性。

　　有些氣浮墊在使用的過程中性能指標會發生較大的變化，即便是使用條件(溫度、角度、氣隙等)發生了很小的變化;

　　氣浮設備選購技巧 氣浮的原理懸浮物表面有親水和憎水之分。 憎水性顆粒表面容易附著氣泡， 因而可用氣浮法。親水性顆粒用適當的化學藥品處理后可以轉為憎水性。

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